英特爾展示多項技術(shù)突破 未來晶體管微縮面積提升30%至50%

在近日舉行的2021 IEEE國際電子器件會議（IEDM）上，英特爾概述了其未來技術(shù)發(fā)展方向，介紹了在封裝、晶體管和量子物理學方面的關(guān)鍵技術(shù)。英特爾表示，目前在全新的功率器件和內(nèi)存技術(shù)上取得的重大突破，這些基于物理學新概念所衍生的新技術(shù)，在未來很可能會重新定義計算。

英特爾披露的突破性技術(shù)進展涉及三個領(lǐng)域的探索，會將摩爾定律延續(xù)至2025年及更遠的未來。

首先，英特爾會在未來的產(chǎn)品中會提供更多的晶體管，為此針對核心微縮技術(shù)進行重點研究。通過采用混合鍵合互連中的設(shè)計、制程工藝和組裝難題的解決方案，英特爾期望在封裝中將互連密度提升10倍以上。為了使生態(tài)系統(tǒng)能從先進封裝中獲益，英特爾呼吁建立新的行業(yè)標準和測試程序，讓混合鍵合芯粒（hybrid bonding chiplet）生態(tài)系統(tǒng)成為可能。

事實上，在今年7月份公布的最新工藝路線圖中，英特爾表示通過Foveros Direct，實現(xiàn)向直接銅對銅鍵合的轉(zhuǎn)變以及低電阻互連，從而實現(xiàn)了10微米以下的凸點間距，使3D堆疊的互連密度提高一個數(shù)量級，未來晶圓制成到封裝兩者之間的界限將不再那么明顯，預計將于2023年在量產(chǎn)的產(chǎn)品中使用。

英特爾展望了其GAA RibbonFET（Gate-All-Around RibbonFET）技術(shù)，通過堆疊多個（CMOS）晶體管，實現(xiàn)高達30%至50%的邏輯微縮提升，在每平方毫米上容納更多晶體管。這也為英特爾進入埃米時代鋪平道路，未來將克服傳統(tǒng)硅通道限制，用僅有數(shù)個原子厚度的新型材料制造晶體管，以增加每個芯片上的晶體管數(shù)量，實現(xiàn)更為強大的計算性能。

其次，英特爾為硅注入新功能。通過在300毫米的晶圓上首次集成氮化鎵基（GaN-based）功率器件與硅基CMOS，實現(xiàn)了更高效的電源技術(shù)。為CPU提供低損耗、高速電能傳輸創(chuàng)造了條件，同時也減少了主板組件和空間。

英特爾還打算利用新型鐵電體材料，作為下一代嵌入式DRAM技術(shù)的可行方案。新技術(shù)可提供更大內(nèi)存資源和低時延讀寫能力，以解決目前從游戲到人工智能計算等應用中面臨的負責問題。

最后，英特爾正致力于提升硅基半導體的量子計算性能。通過開發(fā)可在室溫下進行高效、低功耗計算的新型器件，以逐步取代傳統(tǒng)的MOSFET晶體管。在這次會議上，英特爾就展示了全球首款常溫磁電自旋軌道（MESO）邏輯器件，未來有可能基于以納米為尺度的磁體器件制造出新型晶體管。

目前英特爾在自旋電子材料研究方面取得進展，使器件集成研究接近實現(xiàn)自旋電子器件的全面實用化。此外，英特爾還展示了完整的300毫米量子比特制程工藝流程，不僅可持續(xù)微縮，而且還能與CMOS制造兼容，這也確定了英特爾未來的研究方向。

英特爾高級院士兼組件研究部門總經(jīng)理Robert Chau表示，這次在會議上分享的關(guān)鍵研究突破將帶來革命性的制程工藝和封裝技術(shù)，以滿足行業(yè)和社會對強大計算的無限需求。這是英特爾研發(fā)團隊不懈努力的結(jié)果，未來將繼續(xù)站在技術(shù)創(chuàng)新的最前沿，不斷延續(xù)摩爾定律。